更新時間:2020-04-28
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產品報價:
產品特點:日本雅馬拓等離子清洗機 YSP63FA 可進行樣品傳輸系統定制● 操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。● 軟性基板也可以進行傳送操作。● 傳送速度可在Hi-Low間調節。● 可通過網絡進行遠程操作(選購品)。
日本雅馬拓等離子清洗機 YSP63FA
可進行樣品傳輸系統定制
● 操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。● 軟性基板也可以進行傳送操作。● 傳送速度可在Hi-Low間調節。● 可通過網絡進行遠程操作(選購品)。日本雅馬拓等離子清洗機 YSP63FA規格
型號
YSP63FA
模式
RIE(DP模式選購)
高頻輸功率
600W
反應臺尺寸
W385×D362mm
內腔尺寸
W395×D378×H45mm(內尺寸)
反應氣體
2進氣系統(氧氣、氬氣)
反應氣體流量控制
質量流量控制器
真空泵
旋轉式真空泵(約500L/min)
氣體導入口
反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
外形尺寸
W1860×D1100×H1800mm
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