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日本雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

日本雅馬拓等離子清洗機V1000/1000X/1000XS

更新時間:2020-04-28

廠商性質:代理商

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產品特點:日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS
13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單"的臺式 高性能型號,調取數據簡單,以電子材料為中心,可對應 多種用途。
特征

詳細資料
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域醫療衛生,食品,化工,制藥

日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機,搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號,調取數據簡單,以電子材料為中心,可對應 多種用途。
特征
●  可變更電極構造提高等離子效果。
●  搭載高精度適配器,高性能RF 電源。
●  可根據需求規格提供定制。

用途
●  硅晶圓的灰化及蝕刻
●  基板表面污垢處理
●  IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
●  半導體相關部品的電子材料的干式清洗
●  自然氧化膜·有機物去除
●  界面活性處理
●  表面污染物去除

日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 內槽

日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 規格
 

型號V1000V1000XV1000XS
等離子模式DP/RIE
高頻電源13.56MHz
輸出功率Max1000WMax1000 & 1500W
有效電極尺寸W280×D280mmW300×D300mmW400×D375mm
電極平行平板2段電極(獨立)平板(多目的)
反應氣體聚合控制器2系統(填充氣路另行安裝)
真空泵(標配)約1000L/min約1500L/min1000 & 1500L/min
安全裝置門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等


管路連接圖

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