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日本雅馬拓等離子灰化機 PR500/510

日本雅馬拓等離子灰化機 PR500/510

更新時間:2020-04-28

廠商性質:代理商

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產品報價:

產品特點:·PR500/510等離子灰化機
高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經典桶型。
PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

詳細資料
品牌其他品牌產地類別進口
應用領域醫療衛生,食品,化工,建材,制藥

·日本雅馬拓PR500/510等離子灰化機

高頻輸出 50~500W,反應腔 Φ215×305mm 

低溫等離子·經典桶型。 

PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制

低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。

日本雅馬拓PR500/510等離子灰化機用途 

·去除光刻膠

·部品清洗

·界面活性處理

·微研磨

·硅晶圓,玻璃基板對應 

日本雅馬拓PR500/510等離子灰化機特征 

·大口徑(Φ215mm)石英反應腔

·小型一體化設計

·操作簡單的觸摸屏方式(PR510型) 
 

日本雅馬拓PR500/510等離子灰化機?規格 

型號

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調方式

自動協調

反應部

反應腔

石英 Φ215×305mm

反應氣體

2系統(O2/CF4)

控制

手動

觸摸屏自動控制

配管材質

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438×D520×H760mm

參照規格書

重量

約60kg

參照規格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

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